поиск оборудования
Вакуумные клапаны
Клапаны и затворы Agilent
Модельный ряд вакуумных клапанов компании Agilent и компании VAT разработан для обеспечения надежности и производительности.
Эти клапаны также предназначены для оптимизации проводимости, работы в широком диапазоне приложений, а также для минимизации числа движущихся частей.
Указанные особенности позволят сократить износ и ограничить число возникающих частиц, что способствует повышению надежности и производительности клапанов.
Затворы Agilent
Клапаны серии GateKeeper являются экономичными, надежными вакуумными затворами, разработанными и изготавливаемыми компанией Agilent. Эти клапаны обеспечивают экономичное, низкопрофильное средство изоляции насоса высокого вакуума при низком уровне создания твердых частиц. Такие клапаны являются более экономичной альтернативой клапанам из нержавеющей стали.
 |
В конструкции клапанов серии GateKeeper используется корпус из литого алюминия, линейный приводной механизм, механизм уплотнения на основе опорной пластины и эластомерное уплотнение штока. Такие клапаны являются высококачественными и экономичными механизмами плавного действия. Корпус устройства литой, выполненный с использованием процесса VaPore при строгом контроле каждой партии материалов и каждого технологического этапа, что позволяет получать литье без пор. Надежное высоковакуумное уплотнение штока исключает необходимость применения сильфонов. Линейный привод и уплотняющий механизм на основе опорной пластины предназначены для сведения к минимуму точек контакта металл-металл. |
Собранный клапан представляет собой изящный механизм, который использует небольшое число прецизионно обработанных компонентов. Требуемые для уплотнения усилия создаются при минимальном числе движущихся частей, а также без регулировочных винтов. В результате при работе клапана возникает лишь незначительное число твердых частиц. Алюминиевый шиберный клапан компании Agilent имеет небольшой фланец. Детали фланцев стандарта ISO/F механически вставляются в литой корпус, что обеспечивает соответствие захватно-зажимного соединения стандарту ISO.
Особенности
- Корпус устройства литой, выполненный с использованием процесса VaPore для обеспечения целостности вакуумных систем
- Высоковакуумное уплотнение штока не имеет сильфонов
- Экструдированный алюминиевый пневмоцилиндр с внутренним демпфированием
- Прецизионные шарикоподшипники, перемещающиеся по профилированным дорожкам
- Уплотнительная пластина перемещается по направляющим и не требует каких-либо роликов
- Для обеспечения требуемого уплотняющего усилия не требуется какая-либо настройка
- Небольшой фланец имеет низкий профиль
- Переключатель режимов дистанционной и визуальной индикации положения
Преимущества
- Экономичный и легкий клапан предназначен для работы в условиях высокого вакуума
- Безаварийная работа
- Рассчитан на большое количество рабочих циклов
- Бесшумное и плавное срабатывание при минимуме вибраций
- Низкий уровень генерации твердых частиц при соприкосновении с литым алюминиевым корпусом
- Какие-либо регулировочные винты в уплотнительной пластине, заворачивающиеся в литой корпус, отсутствуют
- Стандартное уплотнение рассчитано на длительный срок службы
- Удобен при проектировании и монтаже систем
- Простота обслуживания
Техническая спецификация затворов фирмы Agilent
| Диапазон вакуума | Прогреваемый до |
| 1 атм. - 10-7 Торр (мбар) | 1500С |
| Материал Корпус | Срок службы |
| Алюминий | 1 000 000 |
| Уплотнение поршня | Пневматическое соединение |
| Витон | 1/8 in/ NPT |
| Диапазон течи уплотнения | Давление сжатого воздуха |
| < 1 x 10-9 атм. см3/с (по Гелию) | 60 psi - 100 psi |
| Диапазон течи корпуса | Время открытия / закрытия |
| < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) | Меньше 2 сек |
| Проводимость | Ход поршня |
| ISO 63-550 л/сек / ISO 100-2000 л/сек / ISO 160 - 7000 л/сек / ISO 250 - 26000 л/сек | Линейное движение |
Электромагнитный клапан Agilent
 |
Экономичный, не требующий обслуживания, легко интегрируется в вакуумную систему с помощью быстроразъемного соединения. Выпускаются с двумя присоединительными фланцами: KlampFlange NW16 и NW25. Управляющие напряжения: 12В или 24В прямого тока, 220В (50/60Гц), 240В (50Гц), 115В (50/60Гц), 200В (60Гц). |
Техническая характеристика
| Диапазон вакуума | Срок службы |
| Корпус из алюминия - 1 атм. - 10-6ТоррКорпус из никеля-платины - 1 атм. - 10-9 Торр | 250 000 |
| Диапазон течи | Проводимость (молекулярный режим) |
| 1 атм. - 10-9 Торр (мбар) | KF 16 – 2,2 л/сKF 25 – 3,5 л/с |
| Прогреваемый до | Время открытия / закрытия |
| В закрытом положении – 1250С | Открытия – 50 мсекЗакрытия – 25 мсек |
| Мощность | 23 Ватт |
Вакуумные клапаны Agilent
- Материал корпуса алюминий 6061 Т6, материал уплотнения витон V747-75
 |
Алюминиевые вакуумные клапаны Agilent предназначены для работы в условиях среднего и высокого вакуума. Эти экономичные, компактные и надежные клапаны применяются при производстве полупроводников, в исследованиях и опытно-конструкторских работах, а также в промышленных вакуумных системах. Вакуумные клапаны компании Agilent рассчитаны на 1 млн циклов (NW16/25). |
В настоящее время изготавливаются клапаны, углового исполнения (NW16 – 80) или линейного исполнения (NW16 – 40). Эти клапаны можно заказать с ручным или с пневматическим управлением. Модели клапанов с никелевым покрытием обеспечивают пониженную дегазацию и повышенную стойкость к агрессивным газам. Клапаны с пневматическим управлением можно заказать с соленоидом и/или с визуальным индикатором положения.
Диапазон вакуума 1 атм. - 10-9 Торр (мбар) Прогреваемый до 1500C
- Материал корпуса нержавеющая сталь 304, материал уплотнения витон V747-75
 |
Запорные клапаны Agilent из нержавеющей стали предназначены для работы в условиях среднего и высокого вакуума. Эти экономичные, компактные и надежные клапаны применяются при производстве полупроводников, в исследованиях и опытно-конструкторских работах, а также в промышленных вакуумных системах. В настоящее время изготавливаются клапаны, углового исполнения (NW16-80) или линейного исполнения, с CF, KF или с концевыми трубками. |
Эти клапаны можно заказать либо с ручным или пневматическим управлением. Запорные клапаны компании Agilent из нержавеющей стали рассчитаны на 1 млн циклов (NW16/25).
Диапазон вакуума 1 атм. - 10-9 Торр (мбар) Прогреваемый до 2000C
- Материал корпуса нержавеющая сталь 304, материал уплотнения сльфонное металлическое с герметизирующим элементом.
 |
При необходимость надежной герметизации из эластомера для работы со сверхвысоким вакуумом следует использовать клапаны из нержавеющей стали, устанавливаемые под прямым углом или встраиваемые в линию. В настоящее время изготавливаются клапаны, углового исполнения или линейного исполнения, с фланцами CFF16 / CFF25 / CFF40. |
Диапазон вакуума 1 атм. - 10-10 Торр (мбар) Прогреваемый до 2250C
Техническая характеристика
| Диапазон течи уплотнения | Диапазон течи корпуса |
| < 1 x 10-9 атм. см3/с (по Гелию) | < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) |
| Пневматическое соединение | Давление сжатого воздуха |
| резьбовое соединение 1/8 in/ NPT | Пружины сжата, подача воздуха открыта: 60 psi - 120 psi |
| Срок службы | Время открытия / закрытия |
| KF16 / KF25 – 1 000 000KF40 / KF80 – 250 000CFF16 / CFF25 - 1 000 000 CFF 40 - 250 000 | 300 мсек |
 |
Цельнометаллические клапаны Agilent рассчитаны на высокие температуры и предназначены для использования в системах сверхвысокого вакуума, где температуры нагрева достигают 450 °C, что препятствует использованию эластомеров и металлов с низкой температурой плавления. Простота цельнометаллической конструкции, в которой используется принцип уплотнения фланца ConFlat компании Agilent, обеспечивает работу устройства при низких эксплуатационных расходах, что обеспечивает максимальную надежность и вакуумное уплотнение в диапазоне давлений от атмосферного до 10-11 торр (мбар). |
В настоящее время изготавливаются клапаны углового исполнения, трехходовые или линейного исполнения, с фланцами CFF16 / CFF40.
Техническая характеристика
| Диапазон вакуума | Прогреваемый до |
| 1 атм. - 10-11 Торр (мбар) | Фланец CFF 16 - 4000СФланец CFF 40 – 4500C |
| Диапазон течи уплотнения | Диапазон течи корпуса |
| < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) | < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) |
| Проводимость | Срок службы |
| CFF 16 - 5 л/секCFF 40 – углообразный - 36 л/секCFF 40 – трехходовой - 22 л/секCFF 63 - 118 л/сек | При 4000С, 4500С – 30При 200С, 250С – 300 |
 |
Этот клапан электрически подключен параллельно механическому насосу и быстро закрывается при прерывании подачи питания, чтобы предотвратить возникновение обратного потока масла или миграции частиц в вакуумную систему. Указанные клапаны также вентилируют насос с входной стороны, что позволяет протолкнуть весь мусор к выходному отверстию, предотвращая его попадание в систему при повторном запуске насоса. Конструкция корпуса и расположение клапана под прямым углом обеспечивают максимальную проводимость. |
Техническая характеристика
| Материал | Время закрытия |
| Корпуса – алюминий Т6061-Т6Штока – алюминий 2024Уплотнения - витон | 30 мсек |
| Мощность | Диапазон течи корпуса |
| 7 Ватт | < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) |
| Диапазон температуры | Диапазон течи уплотнения |
| Клапана от 0 до 1000С, соленоида от 0 до 500С | < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) |
| Проводимость | Фланец подключения |
| KF 25 – 13 л/секKF 40 – 33л/сек | KF 25KF 40 |
 |
Натекатель ручного действия имеет движущийся шток с оптически плоским сапфиром, который соприкасается с зафиксированной металлической прокладкой. Эта технология формирует уплотнение, полностью свободное от трения, заеданий и сдвига. Перемещение сапфира управляется резьбового механизма, имеющего вал и рычаг, который обеспечивает выигрыш в силе 13 000:1. |
Техническая характеристика
| Контроллируемый уровень течи | Максимальный поток проводимости |
| 10-10 Торр*л/сек | 6 л/мин |
| Диапазон вакуума | Прогреваемый до |
| 1 атм. - 10-11 Торр (мбар) | 4500С |
| Диапазон течи | Фланец подключения |
| < 1 x 10-10 атм. см3/с (по Гелию) | CFF 40 |
